A semiconductor workpiece processing tool includes process modules having
a robot loading window and a manual loading window, and a control system
for managing a production route defining movement of the workpiece among
a number of the process modules. The control system includes a user
interface through which an operator can define the production route and
recipes to be performed on the workpiece in each of the process modules,
a system controller for controlling execution of the production route, a
process module controller associated with each of the process modules for
controlling the processing of the workpiece in the process module, and a
network connecting the control system components. Advantages of the
invention include the ability to continue a production route while
manually operating a process module. As a result, the tool may continue
in operation while selected process module are tested, maintained or
otherwise used to process workpieces.
Un objeto del semiconductor que procesa la herramienta incluye módulos de proceso que tienen una ventana del cargamento de la robusteza y una ventana manual del cargamento, y un sistema de control para manejar una ruta de la producción que define el movimiento del objeto entre un número de los módulos de proceso. El sistema de control incluye un interfaz utilizador a través de el cual un operador pueda definir la ruta y las recetas de la producción que se realizarán en el objeto en cada uno de los módulos de proceso, de un regulador del sistema para la ejecución que controla de la ruta de la producción, de un regulador de proceso del módulo asociado a cada uno de los módulos de proceso para controlar el proceso del objeto en el módulo de proceso, y de una red que conecta los componentes del sistema de control. Las ventajas de la invención incluyen la capacidad de continuar una ruta de la producción mientras que manualmente funcionan un módulo de proceso. Consecuentemente, la herramienta puede continuar en la operación mientras que se prueba, se mantiene o se utiliza de otra manera el módulo de proceso seleccionado para procesar los objetos.
