A preionization device for a gas laser comprises an internal preionization electrode having a dielectric housing around it and an external preionization electrode displaced from the dielectric housing by a small gap. The dielectric housing includes two cylindrical regions of differing outer radii of curvature. An open end of the housing has a larger radius of curvature than the other end which is closed. The internal electrode connects to circuitry external to the discharge chamber via a conductive feedthrough which penetrates through the housing. The external circuitry prevents voltage oscillations caused by residual energy stored as capacitance in the dielectric housing. The external preionization electrode, which is connected electrically to one of the main discharge electrodes, is formed to shield the internal preionization electrode from the other main discharge electrode to prevent arcing therebetween. The external electrode is also formed to shield the outer gas volume and walls of the discharge chamber from the preionization unit. A semi-transparent external electrode prevents charged particles emanating from the main discharge area from settling on the housing and causing field distortion and discharge instabilities.

Um dispositivo do preionization para um laser do gás compreende um elétrodo interno do preionization que têm uma carcaça dieléctrica em torno dele e um elétrodo externo do preionization deslocado da carcaça dieléctrica por uma abertura pequena. A carcaça dieléctrica inclui duas regiões cilíndricas de raios exteriores diferindo da curvatura. Uma extremidade aberta da carcaça tem um raio maior da curvatura do que a outra extremidade que é closed. O elétrodo interno conecta aos circuitos externos à câmara da descarga através de um feedthrough condutor que penetre através da carcaça. Os circuitos externos impedem as oscilações da tensão causadas pela energia residual armazenada como a capacidade na carcaça dieléctrica. O elétrodo externo do preionization, que é conectado eletricamente a um dos elétrodos principais da descarga, é dado forma para proteger o elétrodo interno do preionization do outro elétrodo principal da descarga para impedir formar arcos therebetween. O elétrodo externo é dado forma também para proteger o volume do gás e as paredes exteriores da câmara da descarga da unidade do preionization. Um elétrodo externo semi-transparente impede que as partículas carregadas que emanating da área principal da descarga se estabeleçam na carcaça e se causem instabilidades da distorção e da descarga do campo.