The present invention provides a resin-encapsulated semiconductor apparatus
comprising a semiconductor device having a ferroelectric film and a
surface-protective film, and an encapsulant member comprising a resin; the
surface-protective film being formed of a polyimide. The present invention
also provides a process for fabricating a resin-encapsulated semiconductor
apparatus, comprising the steps of forming a film of a polyimide precursor
composition on the surface of a semiconductor device having a
ferroelectric film; heat-curing the polyimide precursor composition film
to form a surface-protective film formed of a polyimide; and
encapsulating, with an encapsulant resin, the semiconductor device on
which the surface-protective film has been formed. The polyimide may
preferably have a glass transition temperature of from 240.degree. C. to
400.degree. C. and a Young's modulus of from 2,600 MPa to 6 GPa. The
curing may preferably be carried out at a temperature of from 230.degree.
C. to 300.degree. C.
Присытствыющий вымысел обеспечивает смола-pome5enny1 прибор полупроводника состоя из прибора на полупроводниках имея ferroelectric пленку и surface-protective пленку, и encapsulant член состоя из смолаы; surface-protective пленка будучи сформированным polyimide. Присытствыющий вымысел также обеспечивает процесс для изготовлять смола-pome5enny1 прибор полупроводника, состоя из шагов формировать пленку состава прекурсора polyimide на поверхности прибора на полупроводниках имея ferroelectric пленку; heat-curing пленка состава прекурсора polyimide для того чтобы сформировать surface-protective пленку сформировала polyimide; и помещающ, с encapsulant смолаой, был сформирован прибора на полупроводниках на котором surface-protective пленка. Polyimide может предпочтительн иметь температуру стеклянного перехода от 240.degree. C к 400.degree. C и young's модуль от 2.600 MPa до 6 GPa. Лечить может предпочтительн быть снесен вне на температуру от 230.degree. C к 300.degree. Ч.