A method of determining the composition of a film stack using optical properties is disclosed herein. In one embodiment, the method comprises providing a library of optical characteristic traces, each of which correspond to a film stack combination comprised of multiple process layers, providing a wafer having a film stack formed thereabove, and illuminating the film stack. The method further comprises measuring light reflected off the film stack to generate an optical characteristic trace for the film stack, and determining the composition of the film stack formed above the wafer by correlating or matching the generated optical characteristic trace for the film stack above the wafer to an optical characteristic trace from the library, the optical characteristic trace from the library having an associated film stack composition comprised of a plurality of known process layers.

Un método de determinar la composición de un apilado de la película que usa características ópticas se divulga adjunto. En una encarnación, el método abarca el abastecimiento de una biblioteca de los rastros característicos ópticos, cada uno de los cuales corresponde a una combinación del apilado de la película abarcada de capas de proceso múltiples, proporcionando una oblea que tiene un thereabove formado apilado de la película, e iluminando el apilado de la película. El método más futuro abarca la luz que mide reflejada del apilado de la película para generar un rastro característico óptico para el apilado de la película, y determinar la composición del apilado de la película formado sobre la oblea correlacionando o emparejando el rastro característico óptico generado para el apilado de la película sobre la oblea a un rastro característico óptico de la biblioteca, el rastro característico óptico de la biblioteca que tiene una composición asociada del apilado de la película abarcada de una pluralidad de capas de proceso sabidas.