An edge gripping device for a robot arm grips and ungrips substrates, such as semiconductor wafers. A base is fixed to an end of the robot arm. A blade, having a distal contact location thereon, and a pusher bar, having preferably two proximal contact locations thereon, are movably mounted to the base via a linkage mechanism. The linkage mechanism includes two four-bar linkages. The first four-bar linkage has a stationary link and three movable links connected in a parallelogram configuration. The pusher bar is fixed to one of the movable links of the first linkage for movement therewith. The second four-bar linkage has a stationary link and three movable links connected in a trapezoidal configuration. The blade is fixed to one of the movable links of the second linkage for movement therewith. The two linkages share a stationary pivot point. An actuator having one end fixed with respect to the first linkage and an opposite end fixed with respect to the second linkage is operative to move the first linkage and the second linkage. The proximal contact location moves substantially horizontally and the distal contact location moves vertically and horizontally.

Un dispositivo conmovedor del borde para los apretones de un brazo de la robusteza y los substratos de los ungrips, tales como obleas de semiconductor. Una base está fijada a un extremo del brazo de la robusteza. Una lámina, teniendo una localización distal del contacto sobre eso, y una barra del empujador, teniendo preferiblemente dos localizaciones próximas del contacto sobre eso, movible se monta a la base vía un mecanismo del acoplamiento. El mecanismo del acoplamiento incluye dos acoplamientos de la cuatro-barra. El primer acoplamiento de la cuatro-barra tiene un acoplamiento inmóvil y tres acoplamientos movibles conectados en una configuración del paralelogramo. La barra del empujador está fijada a uno de los acoplamientos movibles del primer acoplamiento para el movimiento therewith. El segundo acoplamiento de la cuatro-barra tiene un acoplamiento inmóvil y tres acoplamientos movibles conectados en una configuración trapezoidal. La lámina está fijada a uno de los acoplamientos movibles del segundo acoplamiento para el movimiento therewith. Los dos acoplamientos comparten un punto inmóvil del pivote. Un actuador que tiene un extremo fijado con respecto al primer acoplamiento y un extremo opuesto fijado con respecto al segundo acoplamiento es operativo mover el primer acoplamiento y el segundo acoplamiento. La localización próxima del contacto se mueve substancialmente horizontalmente y la localización distal del contacto se mueve verticalmente y horizontalmente.