A casing for a laser device in which contaminants do not generate even if it is radiated with laser light, a production method and a cleaning method of the same are provided. For this purpose, the cleaning method is a method of cleaning a casing (19) for an ultraviolet laser device, an inside of which laser light (11) passes through, comprises the steps of purging the inside of the casing (19) with an inert gas, and radiating F2 cleaning laser light (16) oscillated from an F2 molecular laser light radiating device (15) to the inside of the casing (19) to thereby remove contaminants adhering to the inside of the casing (19).

Обеспечены кожух для приспособления лазера в загрязняющьи елементы не производят even if оно излучено с светом лазера, способа производства и метод чистки этих же. Для этой цели, методом чистки будет метод очищать кожух (19) для ультрафиолетов приспособления лазера, внутренность которого свет лазера (11) проходит до конца, состоит из шагов продувать внутренность кожуха (19) с инертным газом, и излучать осциллированный свет лазера (16) чистки f2 от молекулярного света лазера f2 излучая приспособление (15) к внутренности кожуха (19) таким образом для того чтобы извлечь загрязняющьи елементы придерживаясь к внутренности кожуха (19).