A semiconductor wafer processing system has a carrier including wafer slots. A process robot engages the carrier and installs the carrier into a rotor within a process chamber. The rotor has a tapered or stepped inside surface matching a tapered or stepped outside surface of the carrier. Wafer retainers on the carrier pivot to better secure wafers within the carrier.

Un sistema de proceso de la oblea de semiconductor tiene un portador incluyendo ranuras de la oblea. Una robusteza de proceso contrata el portador e instala el portador en un rotor dentro de un compartimiento de proceso. El rotor tiene una superficie interior afilada o caminada que empareja una superficie exterior afilada o caminada del portador. Los detenedores de la oblea en el portador giran a obleas seguras mejores dentro del portador.