A robot assembly including multiple independently operable robot assemblies are provided for use in semiconductor wafer processing. The robot assembly includes independent co-axial upper and lower robot assemblies adapted to handle multiple objects. The upper robot is stacked above the lower robot and the two robots are mounted concentrically to allow fast wafer transfer. Concentric drive mechanisms may also be provided for imparting rotary motion to either rotate the robot assembly or extend an extendable arm assembly into an adjacent chamber. Each robot can be either a single blade robot or a dual blade robot. Also provided is an apparatus for processing semiconductor wafers comprising a pre/post process transfer chamber housing multiple independent robot assemblies and surrounded by a plurality of pre-process chambers and post process chambers. Within each process, pre-process and post-process chamber is an apparatus for holding a plurality of stacked wafers. The apparatus includes a wafer lifting and storing apparatus exhibiting a plurality of vertically movable lift pins surrounding the chamber pedestal. The lift pins are configured to receive and hold a plurality of stacked wafers, preferably two, therein.

Een robotassemblage met inbegrip van veelvoudige onafhankelijk opereerbare robotassemblage wordt verstrekt voor gebruik in de verwerking van het halfgeleiderwafeltje. De robotassemblage omvat onafhankelijke coaxiale hogere en lagere robotassemblage die aan handvat veelvoudige voorwerpen wordt aangepast. De hogere robot wordt gestapeld boven de lagere robot en de twee robots worden opgezet concentrically om snelle wafeltjeoverdracht toe te staan. De concentrische aandrijvingsmechanismen kunnen ook voor het verlenen van roterende motie worden verstrekt of de robotassemblage roteren of een verlengbare wapenassemblage uitbreiden in een aangrenzende kamer. Elke robot kan of één enkele bladrobot of een dubbele bladrobot zijn. Op voorwaarde dat ook is post een apparaat om halfgeleiderwafeltjes te verwerken pre bestaand uit a/de kamer die van de procesoverdracht veelvoudige onafhankelijke robotassemblage huisvest en omringd door een meerderheid van bewerk kamers en postproceskamers voor. Binnen elk proces, bewerk voor en de post-proceskamer is een apparaat om een meerderheid van gestapelde wafeltjes te houden. Het apparaat omvat een wafeltje dat en apparaten opheft opslaat tentoonstellend een meerderheid van verticaal beweegbare liftspelden die het kamervoetstuk omringen. De liftspelden worden gevormd om een meerderheid van gestapelde wafeltjes, bij voorkeur twee te ontvangen en te houden, daarin.