The present invention provides a composition for preparing substances having nano-pores, said composition comprising cyclodextrin derivative, thermo-stable organic or inorganic matrix precursor, and solvent for dissolving said two solid components. There is also provided an interlayer insulating film having evenly distributed nano-pores with a diameter less than 50 .ANG., which is required for semiconductor devices.

La presente invenzione fornisce una composizione per preparare le sostanze che hanno nano-pori, composizione detta che contengono il derivato della ciclodestrina, precursore organico o inorganico termostabile della tabella e solvente per la dissoluzione detta due componenti solidi. Inoltre è fornito una pellicola isolante dello strato intermedio che distribuisce uniformemente i nano-pori di un ANG. di 50 del diametro più meno, che è richiesto per i dispositivi a semiconduttore.