A collector for use in removing metal ions from a plasma in a vacuum chamber includes a collector plate that is mounted inside the chamber and formed with an internal cooling channel. An injector introduces a dissociated salt into the chamber with a first throughput value, and it introduces a plasma including metal ions into the chamber with a lower second throughput value. A pump is used to pump a liquid coolant through the cooling channel to maintain the collector plate at a temperature that forms a portion of the salt as a protective layer on the collector plate, and causes the salt to thereafter deposit on the layer in a molten condition at a faster rate than evaporation therefrom to trap metal ions therein. The trapped metal ions are then removed with the molten salt from the chamber.

Un colector para el uso en quitar los iones del metal de un plasma en un compartimiento del vacío incluye una placa de colector que se monte dentro del compartimiento y se forme con un canal que se refresca interno. Un inyector introduce una sal disociada en el compartimiento con un primer valor del rendimiento de procesamiento, e introduce un plasma incluyendo los iones del metal en el compartimiento con un segundo valor más bajo del rendimiento de procesamiento. Una bomba se utiliza para bombear un líquido refrigerador líquido a través del canal que se refresca para mantener la placa de colector en una temperatura que forme una porción de la sal como capa protectora en la placa de colector, y hace la sal depositar después de eso en la capa en condiciones fundidas en una tarifa más rápida que la evaporación therefrom para atrapar los iones del metal en esto. Los iones atrapados del metal entonces se quitan con la sal fundida del compartimiento.