The detection of a processing deviation in a multiple stage wafer processing system is achieved by assigning individual wafers a set of positional coordinates each time the wafer moves within the wafer processing system. In an example embodiment, a wafer is placed into a first processing stage and it is rotated to a certain angle of rotation. As the wafer moves from one processing stage to another the wafer is given a different angle of rotation; both the rotation angle and the wafer location are then recorded as a set of positional coordinates. The processed wafer is examined for surface deviations arising from variations in the processing parameters. The positional coordinates are used to develop a wafer movement map that aids in identifying the processing stage location where the deviation in the processing parameters occurred. An important advantage is the increased processing deviation traceability that the method brings to wafer processing.

La détection d'une déviation de traitement dans un système de traitement multiple de gaufrette d'étape est réalisée en assignant à différentes gaufrettes un ensemble de coordonnées de position chaque fois que la gaufrette se déplace dans le système de traitement de gaufrette. Dans une incorporation d'exemple, une gaufrette est placée dans une première étape de traitement et elle est tournée jusqu à un certain angle de rotation. Comme les mouvements de gaufrette d'une étape de traitement à l'autre la gaufrette est donnés un différent pêchez de la rotation ; l'angle de rotation et l'endroit de gaufrette sont alors enregistrés comme ensemble de coordonnées de position. La gaufrette traitée est examinée pour les déviations extérieures résultant des variations des paramètres de traitement. Les coordonnées de position sont employées pour développer une carte de mouvement de gaufrette cette des aides en identifiant l'endroit d'étape de traitement où la déviation dans les paramètres de traitement s'est produite. Un avantage important est le traceability de traitement accru de déviation que la méthode apporte au traitement de gaufrette.