The upper electrode of a capacitor is constituted of laminated films which act to prevent hydrogen atoms from reaching the capacitor electrodes and degrading performance. In one example, a four layer upper electrode respectively act as a Schottky barrier layer, a hydrogen diffusion preventing layer, a reaction preventing layer, and an adsorption inhibiting layer. Therefore, the occurrence of a capacitance drop, imperfect insulation, and electrode peeling in the semiconductor device due to a reducing atmosphere can be prevented. In addition, the long-term reliability of the device can be improved.

De hogere elektrode van een condensator wordt gevormd van gelamineerde films die handelen om waterstofatomen te verhinderen het bereiken van de condensatorelektroden en prestaties te degraderen. In één voorbeeld, een vier laag hogere elektroden respectievelijk handeling als Schottky barrièrelaag, een waterstofverspreiding laag verhinderen, een reactie laag verhinderen, en een adsorptie verbiedende laag die. Daarom kan het voorkomen van een capacitieve weerstandsdaling, een onvolmaakte isolatie, en een elektrodenschil in het halfgeleiderapparaat toe te schrijven aan een verminderende atmosfeer worden verhinderd. Bovendien kan de betrouwbaarheid op lange termijn van het apparaat worden verbeterd.