Application of selected wavelength range, oblique angle of incidence,
reflection mode, spectroscopic ellipsometry DELTA data to monitor and/or
control fabrication of multiple layer High/Low Refractive Index Narrow
Bandpass Optical Filters, either alone or in combination with transmissive
or reflective non-ellipsometric data obtained at an essentially normal
angle of incidence.
Применение выбранного длинноволнового диапазона, вкосую угол падения, режим отражения, спектроскопические ellipsometry данные по ПЕРЕПАДА к монитору and/or изготовление управления фильтров множественной узкой части рефрактивного индекса слоя высокой bandpass оптически, или самостоятельно или in combination with transmissive или отражательные non-ellipsometric данные полученные на необходимо нормальном угле падения.