An ellipsometer, and a method of ellipsometry, for analyzing a sample using a broad range of wavelengths, includes a light source for generating a beam of polychromatic light having a range of wavelengths of light for interacting with the sample. A polarizer polarizes the light beam before the light beam interacts with the sample. A rotating compensator induces phase retardations of a polarization state of the light beam wherein the range of wavelengths and the compensator are selected such that at least a first phase retardation value is induced that is within a primary range of effective retardations of substantially 135.degree. to 225.degree., and at least a second phase retardation value is induced that is outside of the primary range. An analyzer interacts with the light beam after the light beam interacts with the sample. A detector measures the intensity of light after interacting with the analyzer as a function of compensator angle and of wavelength, preferably at all wavelengths simultaneously. A processor determines the polarization state of the beam as it impinges the analyzer from the light intensities measured by the detector.

Un ellipsometer, et une méthode d'ellipsometry, pour analyser un échantillon en utilisant une large gamme des longueurs d'onde, inclut une source lumineuse pour produire d'un faisceau de la lumière polychromatique ayant une gamme des longueurs d'onde de la lumière pour agir l'un sur l'autre avec l'échantillon. Un polariseur polarise le faisceau lumineux avant que le faisceau lumineux agisse l'un sur l'autre avec l'échantillon. Un compensateur tournant induit des retardations de phase d'un état de polarisation du faisceau lumineux où la gamme des longueurs d'onde et le compensateur sont choisis tels qu'au moins une première valeur de retardement de phase est induite qui est dans une marge primaire des retardations efficaces sensiblement de 135.degree. à 225.degree., et au moins à une deuxième valeur de retardement de phase est induit qui est en dehors de de la gamme primaire. Un analyseur agit l'un sur l'autre avec le faisceau lumineux après que le faisceau lumineux agisse l'un sur l'autre avec l'échantillon. Un détecteur mesure l'intensité de la lumière après avoir agi l'un sur l'autre avec l'analyseur en fonction de l'angle de compensateur et de la longueur d'onde, de préférence à toutes les longueurs d'onde simultanément. Un processeur détermine l'état de polarisation du faisceau pendant qu'il empiète l'analyseur des intensités de la lumière mesurées par le détecteur.