The present invention provides configurations and a method of formation of optical coupling elements for surface plasmon resonance sensors. In the method of the present invention, interference patterns between two overlapping monochromatic coherent light beams are created on a photosensitive film disposed on a master substrate. At least one of the light beams has an oblique angle of incidence onto the master substrate, and the focal points of the two overlapping light beams are positioned in order to reduce optical aberrations up to third order. After developing the photosensitive film, the surface relief patterns pattern created on the master substrate is replicated as diffractive optical element onto SPR sensor chips. The diffractive optical elements working as optical coupling elements diffract an incoming light beam into an oblique angle within the range from 40 to .about.80 degrees.

Η παρούσα εφεύρεση παρέχει τις διαμορφώσεις και μια μέθοδο σχηματισμού των οπτικών στοιχείων συζεύξεων για plasmon επιφάνειας τους αισθητήρες αντήχησης. Στη μέθοδο της παρούσας εφεύρεσης, τα σχέδια παρέμβασης μεταξύ δύο επικαλύπτοντας μονοχρωματικών συνεπών ελαφριών ακτίνων δημιουργούνται σε μια φωτοευαίσθητη ταινία που διατίθεται σε ένα κύριο υπόστρωμα. Τουλάχιστον μια από τις ελαφριές ακτίνες έχει μια πλάγια γωνία της πρόσπτωσης επάνω στο κύριο υπόστρωμα, και τα σημεία εστίασης των δύο επικαλύπτοντας ελαφριών ακτίνων τοποθετούνται προκειμένου να μειωθούν οι οπτικές παρεκκλίσεις μέχρι την τρίτη διαταγή. Μετά από να αναπτύξει τη φωτοευαίσθητη ταινία, το σχέδιο σχεδίων ανακούφισης επιφάνειας που δημιουργείται στο κύριο υπόστρωμα ξαναδιπλώνεται ως περιθλαστικό οπτικό στοιχείο επάνω στα τσιπ αισθητήρων SPR. Τα περιθλαστικά οπτικά στοιχεία που λειτουργούν ως οπτικά στοιχεία συζεύξεων προξενούν περίθλαση μια εισερχόμενη ελαφριά ακτίνα σε μια πλάγια γωνία μέσα στη σειρά από 40 στους βαθμούς αψοuτ.80.