Space charges of electrons which repel one another near masks in electron beam exposure machines are reduced by bleeding gas into the vicinity of the apertures in the mask and pumping the gas out from the direction electron travel.

De ruimte lasten van elektronen die elkaar dichtbij maskers in de machines afweren van de elektronenstraalblootstelling worden verminderd door gas af te tappen in de nabijheid van de openingen in het masker en het gas van de reis van het richtingselektron uit te pompen.