A calibration standard which may be used to calibrate lateral dimensional
measurement systems is provided. The calibration standard may include a
first substrate spaced from a second substrate. In addition, the
calibration standard may include at least one layer disposed between the
first and second substrates. The layer may have a traceably measured
thickness. For example, a thickness of the layer may be traceably measured
using any measurement technique in which a measurement system may be
calibrated with a standard reference material traceable to a national
testing authority. The calibration standard may be cross-sectioned in a
direction substantially perpendicular to an upper surface of the first
substrate. The cross-sectioned portion of the calibration standard may
form a viewing surface of the calibration standard. In this manner, a
lateral dimensional artifact of the calibration standard may include the
traceably measured thickness of at least the one layer.
Πρότυπα βαθμολόγησης που μπορούν να χρησιμοποιηθούν για να βαθμολογήσουν τα πλευρικά διαστατικά συστήματα μέτρησης παρέχονται. Τα πρότυπα βαθμολόγησης μπορούν να περιλάβουν ένα πρώτο υπόστρωμα που χωρίζεται κατά διαστήματα από ένα δεύτερο υπόστρωμα. Επιπλέον, τα πρότυπα βαθμολόγησης μπορούν να περιλάβουν τουλάχιστον ένα στρώμα που διατίθεται μεταξύ των πρώτων και δεύτερων υποστρωμάτων. Το στρώμα μπορεί να έχει ένα traceably μετρημένο πάχος. Παραδείγματος χάριν, ένα πάχος του στρώματος μπορεί να μετρηθεί traceably χρησιμοποιώντας οποιαδήποτε τεχνική μέτρησης στην οποία ένα σύστημα μέτρησης μπορεί να βαθμολογηθεί με ένα τυποποιημένο υλικό αναφοράς ανιχνεύσιμο σε μια εθνική εξεταστική αρχή. Τα πρότυπα βαθμολόγησης μπορούν να διαγώνιος-τεμαχιστούν σε μια κατεύθυνση ουσιαστικά κάθετη σε μια ανώτερη επιφάνεια του πρώτου υποστρώματος. Η διαγώνιος-τεμαχισμένη μερίδα των προτύπων βαθμολόγησης μπορεί να διαμορφώσει μια επιφάνεια εξέτασης των προτύπων βαθμολόγησης. Με αυτόν τον τρόπο, ένα πλευρικό διαστατικό χειροποίητο αντικείμενο των προτύπων βαθμολόγησης μπορεί να περιλάβει το traceably μετρημένο πάχος τουλάχιστον του ενός στρώματος.
