A discharge tube (11) made of a dielectric material extends through a hole (3) of a rectangular waveguide (1) and through a coaxial microwave cavity (4) so as to be coaxial with the central axis of the cavity (4). This discharge tube (11) has a double-tube structure including an outer tube (12) and an inner tube (13). The sectional area of an annular gap formed between the outer tube (12) and the inner tube (13) is held constant over the entire length of the inner tube (13). This allows the generation of a stable thermal plasma when a reaction gas containing an organic halide and water vapor is supplied into the outer tube through the annular gap with a microwave transmitted from the rectangular waveguide (1) into the cavity (4).

Пробка разрядки (11) сделала из диэлектрического материала проходит до отверстие (3) прямоугольного волновода (1) и до коаксиальная полость микроволны (4) для того чтобы быть коаксиальной с центральной осью полости (4). Эта пробка разрядки (11) имеет структуру двойн-probki включая наружную пробку (12) и внутреннюю пробку (13). Секционная зона кольцевого зазора сформировала между наружной пробкой (12) и внутренняя пробка (13) держится постоянн над всей длиной внутренней пробки (13). Это позволяет поколение стабилизированной термально плазмы когда газ реакции содержа органические галоид и водяной пар поставлен в наружную пробку через кольцевой зазор при микроволна переданная от прямоугольного волновода (1) в полость (4).