An insulation barrier layer is formed using an insulating material
expressed by a composition formula of Al--Si--O or Si--O--N. The
insulation barrier layer is therefore able to have improved dielectric
strength, developer resistance, smoothness, and heat radiation.
Ένα στρώμα εμποδίων μόνωσης διαμορφώνεται χρησιμοποιώντας ένα μονώνοντας υλικό που εκφράζεται από έναν τύπο σύνθεσης του Al -- Si -- ο ή Si -- ο -- ν. Το στρώμα εμποδίων μόνωσης είναι επομένως ικανό να έχει βελτιώσει τη διηλεκτρική δύναμη, την αντίσταση υπεύθυνων για την ανάπτυξη, την ομαλότητα, και την ακτινοβολία θερμότητας.