A method for producing partially fluorinated epoxides and corresponding polyether homopolymers of these polyfluorinated epoxides is described. Also described is a method for incorporating a fluoroalcohol functional group into a polymer as a pendant group. Certain perfluorinated olefins are also described. These polyfluorinated epoxides and the associated polymers and methods relating to them are useful components in photoresists, particulary in lithographic photoresists for use at low ultraviolet wavelengths (e.g., 157 nm).

Une méthode pour produire les époxydes partiellement fluorés et les homopolymères correspondantes de polyéther de ces derniers polyfluorinated des époxydes est décrite. En outre décrite est une méthode pour incorporer un groupe fonctionnel de fluoroalcohol dans un polymère en tant que groupe pendant. Certaines oléfines perfluorinées sont également décrites. Celles-ci polyfluorinated des époxydes et les polymères et les méthodes associés concernant eux sont les composants utiles dans les vernis photosensibles, particulary dans les vernis photosensibles lithographiques pour l'usage aux basses longueurs d'onde ultra-violettes (par exemple, 157 nm).