An excimer laser with a laser chamber containing a circulating laser gas containing fluorine and a set of long life electrode structures. At least one of the electrode structures has an erosion pad and a cross section shape designed to provide in conjunction with other chamber structure a gradual increasing flow cross section between the discharge region and the circulating tangential fan blade. In a preferred embodiment, electrode lifetime is increased by annealing the erosion rod after it is are machined. This annealing relieves the surface stress caused by the machining operation and reduces the exposed metallic grain boundary length per unit area on the surface of the electrodes, which provides substantial reduction in erosion caused by fluorine chemical attack. Annealing after machining also reduces the stress throughout the bulk of the electrode material. In preferred embodiments the anode is a copper-aluminum alloy and the cathode is a copper-zinc alloy.

Ένα excimer λέιζερ με μια αίθουσα λέιζερ που περιέχει ένα κυκλοφορώντας λέιζερ που περιέχει αέριο το φθόριο και ένα σύνολο μακροχρόνιων δομών ηλεκτροδίων ζωής. Τουλάχιστον μια από τις δομές ηλεκτροδίων ένα μαξιλάρι διάβρωσης και μια μορφή διαγώνιων τμημάτων να παρέχει από κοινού με άλλη δομή αιθουσών ένα βαθμιαίο αυξανόμενο διαγώνιο τμήμα ροής μεταξύ της περιοχής απαλλαγής και της κυκλοφορώντας εφαπτόμενης λεπίδας ανεμιστήρων. Σε μια προτιμημένη ενσωμάτωση, η διάρκεια ζωής ηλεκτροδίων αυξάνεται με την ανόπτηση της ράβδου διάβρωσης αφότου είναι επεξεργάζεται στη μηχανή. Αυτή η ανόπτηση ανακουφίζει την πίεση επιφάνειας που προκαλείται από τη λειτουργία κατεργασίας και μειώνει το εκτεθειμένο μεταλλικό μήκος ορίου σιταριού ανά περιοχή μονάδων στην επιφάνεια των ηλεκτροδίων, η οποία παρέχει την ουσιαστική μείωση της διάβρωσης που προκαλείται από τη χημική επίθεση φθορίου. Η ανόπτηση μετά από να επεξεργαστεί στη μηχανή μειώνει επίσης την πίεση σε όλο τον όγκο του υλικού ηλεκτροδίων. Στις προτιμημένες ενσωματώσεις η άνοδος είναι ένα κράμα χαλκός-αργιλίου και η κάθοδος είναι ένα κράμα χαλκός-ψευδάργυρου.