A miniaturized chemical sensor features an optical microcavity coated with a surface layer, and a waveguide that evanescently couples light into the microcavity. The surface layer is adapted to chemically interact with one or more molecule species in a chemical vapor surrounding the microcavity, so as to alter the evanescent light coupling between the optical microcavity and the waveguide. The chemical interaction causes a change in the index of refraction of the microcavity, resulting in a measurable phase difference readout. The refractive index sensitivity is substantially increased, because of the high Q-value of the optical microcavity.

Ein verkleinerter chemischer Sensor kennzeichnet ein optisches microcavity, das mit einer Deckschicht beschichtet wird, und ein Wellenleiter, der verbindet dieser ist evanescently, Licht in das microcavity. Die Deckschicht wird angepaßt, um auf eine oder mehr Molekülsorte in einem chemischen Dampf chemisch einzuwirken, der das microcavity umgibt, um die dahinschwindende helle Koppelung zwischen dem optischen microcavity und dem Wellenleiter zu ändern. Die chemische Interaktion verursacht eine Änderung im Brechungsindex des microcavity, und das resultiert in einem meßbaren Phasendifferenzauslesen. Die Brechungsindex Empfindlichkeit wird im wesentlichen, wegen des hohen Q-Wertes des optischen microcavity erhöht.