Methods and apparatus are provided for cleaning and passivating laser discharge chambers with plasmas. In one embodiment, an oxygen based plasma is formed in a plasma source external to the laser discharge chamber by applying a radiofrequency signal to oxygen containing gases. The oxygen based plasma is drawn into the laser discharge chamber, where it reacts with contaminants and cleans internal surfaces. After cleaning, a fluorine based plasma is formed in the plasma source and drawn into the laser discharge chamber to passivate internal surfaces. In another embodiment, cleaning with the oxygen based plasma is not used since some level of cleaning is accomplished with the fluorine based plasma. In another embodiment, oxygen based plasmas and fluorine based plasmas are formed in the laser discharge chamber by applying a radiofrequency signal to a laser discharge chamber electrode. Plasma cleaning and passivation of laser discharge chambers is safer, more efficient, and more effective than conventional thermal cleaning and passivation processes.

Os métodos e os instrumentos são fornecidos para a limpeza e passivating câmaras da descarga do laser com os plasmas. Em uma incorporação, um oxigênio baseado plasma é dado forma em uma fonte do plasma externa à câmara da descarga do laser aplicando um sinal do radiofrequency ao oxigênio que contem gáses. O plasma baseado oxigênio é extraído na câmara da descarga do laser, onde reage com os contaminadores e limpa superfícies internas. Após a limpeza, um fluorine baseado plasma é dado forma na fonte do plasma e extraído na câmara da descarga do laser para passivate superfícies internas. Em uma outra incorporação, limpar com o plasma baseado oxigênio não é usada desde que algum nível da limpeza é realizado com o plasma baseado fluorine. Em uma outra incorporação, em um oxigênio baseado os plasmas e em um fluorine baseado plasmas são dados forma na câmara da descarga do laser aplicando um sinal do radiofrequency a um elétrodo da câmara da descarga do laser. A limpeza do plasma e o passivation de câmaras da descarga do laser são mais seguros, mais eficientes, e mais eficazes do que processos térmicos convencionais da limpeza e do passivation.