A metrology device with a rotatable polarizer is calibrated to align the transmission axis of the polarizer with the axis of orientation of a sample, such as a diffraction grating. The axis of orientation of the diffraction grating can be either the TE or TM axis. The system offset angle between the transmission axis of the polarizer in its home position and an axis of motion of the stage, such as a polar coordinate stage, is determined. Whenever a new substrate is loaded onto the stage, the sample offset angle between the axis of motion of the stage and the axis of orientation of a sample is measured. The polarizer offset angle, which is the angle between transmission axis of the polarizer and the axis of orientation of the sample, is the sum of the system offset angle and the sample offset angle. Thus, by rotating the polarizer by an amount equivalent to the sum of the system offset angle and the sample offset angle, the polarizer offset angle is reduced to zero. If desired, the polarizer may be rotated once to compensate for the system offset angle and then rotated to compensate for the sample offset angle for each newly loaded substrate or the polarizer may be rotated to compensate for both the system offset angle and the sample offset angle for each newly loaded substrate.

Um dispositivo da metrologia com um polarizer rotatable é calibrado para alinhar a linha central da transmissão do polarizer com a linha central da orientação de uma amostra, tal como um grating de diffraction. A linha central da orientação do grating de diffraction pode ser a linha central de TE ou de TM. O ângulo offset do sistema entre a linha central da transmissão do polarizer em sua posição home e uma linha central do movimento do estágio, tal como um estágio coordenado polar, é determinado. Sempre que uma carcaça nova é carregada no estágio, o ângulo offset da amostra entre a linha central do movimento do estágio e a linha central da orientação de uma amostra é medido. O ângulo offset do polarizer, que é o ângulo entre a linha central da transmissão do polarizer e a linha central da orientação da amostra, é a soma do ângulo offset do sistema e do ângulo offset da amostra. Assim, girando o polarizer por uma quantidade equivalente à soma do ângulo offset do sistema e do ângulo offset da amostra, o ângulo offset do polarizer é reduzido a zero. Se desejado, o polarizer pode ser girado uma vez para compensar para o ângulo offset do sistema e girado então para compensar para o ângulo offset da amostra para cada carcaça recentemente carregada ou o polarizer pode ser girada para compensar para ambos o ângulo offset do sistema e o ângulo offset da amostra para cada carcaça recentemente carregada.