An array of photosensitive devices may be formed with improved fill factors by including a diffractive microlens which may have a stepped configuration. The microlens may be formed of a sol-gel material having a photoinitiator, or other materials that may be defined with low temperature techniques commonly used in connection with photoresist. In particular, a gray scale mask may be used to define a plurality of steps in the resulting microlens which have different diffractive characteristics.

Μια σειρά φωτοευαίσθητων συσκευών μπορεί να διαμορφωθεί με βελτιωμένος γεμίζει τους παράγοντες με τη συμπερίληψη περιθλαστικά microlens που μπορούν να έχουν μια περπατημένη διαμόρφωση. Τα microlens μπορούν να διαμορφωθούν ενός sol-gel υλικού που έχει ένα photoinitiator, ή άλλων υλικών που μπορούν να καθοριστούν με τις τεχνικές χαμηλής θερμοκρασίας που χρησιμοποιούνται συνήθως σχετικά με photoresist. Ειδικότερα, μια γκρίζα μάσκα κλίμακας μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να καθορίσει μια πολλαπλότητα των βημάτων στην κατάληξη microlens που έχουν τα διαφορετικά περιθλαστικά χαρακτηριστικά.