Nanopores for single-electron devices may be used as templates for placing
of a desired number of nanoparticles at a desired location in the devices.
Nanopores may be fabricated by providing on a substrate spaced apart
electrode regions, a spacer region therebetween, and a cover layer on the
spaced apart electrode regions and on the spacer region. A wet etching
solution is contacted to the cover-layer. At least one of the spaced apart
electrode regions is energized, to selectively wet etch the cover layer
adjacent the spacer region and define a nanopore in the cover layer
adjacent the spacer region. At least one nanoparticle is placed in the
nanopore. Accordingly, nanopores can be aligned to a buried spacer region.
Nanopores para dispositivos do único-elétron pode ser usado como moldes colocando de um número desejado dos nanoparticles em uma posição desejada nos dispositivos. Nanopores pode ser fabricado fornecendo em regiões separadas espaçadas carcaça de um elétrodo, uma região do espaçador therebetween, e uma camada da tampa nas regiões separadas espaçadas do elétrodo e na região do espaçador. Uma solução molhada gravura a água-forte é contatada à cubr-camada. Ao menos uma das regiões separadas espaçadas do elétrodo é energizado, para molhar seletivamente gravura em àgua forte a camada da tampa adjacente a região do espaçador e para definir um nanopore na camada da tampa adjacente a região do espaçador. Ao menos um nanoparticle é colocado no nanopore. Conformemente, os nanopores podem ser alinhados a uma região enterrada do espaçador.