A controlled robot assembly system including multiple independently operable robot assemblies are provided for use in semiconductor wafer processing. The robot assembly includes independent co-axial upper and lower robot assemblies adapted to handle multiple objects and a control system for high system throughput. The upper robot is stacked above the lower robot and the two robots are mounted concentrically to allow fast wafer transfer. Concentric drive mechanisms may also be provided for imparting rotary motion to either rotate the robot assembly or extend an extendable arm assembly into an adjacent chamber. The apparatus includes a wafer lifting and storing apparatus within each chamber.

Ein kontrolliertes Roboterversammlung System einschließlich Mehrfachverbindungsstelle unabhängig funktionelle Roboter werden für Gebrauch bei der Halbleiterplättchenverarbeitung zur Verfügung gestellt. Der Roboter schließt die unabhängigen oberen und untereren koaxialroboter ein, die angepaßt werden, um mehrfache Gegenstände und ein Steuersystem für hohen Systemdurchsatz anzufassen. Der obere Roboter wird über dem untereren Roboter gestapelt und die zwei Roboter werden konzentrisch angebracht, um schnelle Oblateübertragung zu erlauben. Konzentrische Antriebsmechanismen können für das Zuteilen von von Drehbewegung entweder zu auch zur Verfügung gestellt werden drehen den Roboter oder verlängern einen ausdehnbaren Arm in einen angrenzenden Raum. Der Apparat schließt eine Oblate mit ein, die Apparat innerhalb jedes Raumes anhebt und speichert.