A method of determining the properties of a sample from measured spectral data collected from the sample by performing a multivariate spectral analysis. The method can include: generating a two-dimensional matrix A containing measured spectral data; providing a weighted spectral data matrix D by performing a weighting operation on matrix A; factoring D into the product of two matrices, C and S.sup.T, by performing a constrained alternating least-squares analysis of D=CS.sup.T, where C is a concentration intensity matrix and S is a spectral shapes matrix; unweighting C and S by applying the inverse of the weighting used previously; and determining the properties of the sample by inspecting C and S. This method can be used to analyze X-ray spectral data generated by operating a Scanning Electron Microscope (SEM) with an attached Energy Dispersive Spectrometer (EDS).

Un metodo di determinazione delle proprietà di un campione dai dati spettrali misurati ha raccolto dal campione effettuando un'analisi spettrale a più variabili. Il metodo può includere: generazione della tabella bidimensionale A che contiene i dati spettrali misurati; fornendo una tabella spettrale appesantita D di dati realizzando un funzionamento appesantente sulla tabella A; scomponendo la D in fattori nel prodotto di due tabelle, la C e S.sup.T, effettuando un'analisi di minimi quadrati alternata costretta di D=CS.sup.T, dove la C è una tabella di intensità di concentrazione e una S è una tabella spettrale di figure; la C unweighting e la S applicando l'inverso dell'appesantire hanno usato precedentemente; e determinando le proprietà del campione dalla C di controllo e dalla S. Questo metodo può essere usato per analizzare i dati spettrali dei raggi X generati facendo funzionare un microscopio elettronico a scansione (SEM) con uno spettrometro dispersivo fissato di energia (EDS).