A turbomolecular vacuum pump (5) comprises a first pumping section (1) having pumping stages with bladed rotor discs, a second pumping section (2) having pumping stages with smooth rotor discs, a third pumping section (3) having a pumping stage with a toothed rotor disc (26), and a fourth pumping section (4) of the ejector or venturi pump type. (FIG. 1a)

Een turbomolecular vacuümpomp (5) bestaat uit een eerste pompende sectie (1) pompende stadia met rotorschijven met bladen hebben, uit een tweede pompende sectie (2) pompende stadia met vlotte rotorschijven hebben, uit een derde pompende sectie (3) een pompend stadium met een getande rotorschijf (26) hebben, en uit een vierde pompende sectie (4) die van het de uitwerper of type van venturibuispomp. (Fig. 1a)