A first stator is provided with stator electrodes sequentially arranged in a predetermined direction. An extended electrode is mounted on a second stator arranged to face the first stator. A slider is movably arranged between the first and second stators. The slider is provided with a large number of slider electrodes arranged to face the stator electrodes and a second slider electrode facing the extended electrode. The slider electrodes are maintained at the ground potential. A first and second driving voltage are periodically applied to the stator electrodes and to the extended electrode, respectively, which are opposite to each other in phase and are periodically switched between the ground potential and the positive driving voltage. Thus, the slider is moved in a direction while being vibrated.

Een eerste stator wordt voorzien van statorelektroden die opeenvolgend in een vooraf bepaalde richting worden geschikt. Een uitgebreide elektrode wordt op een tweede stator opgezet die wordt geschikt om de eerste stator onder ogen te zien. Een schuif wordt movably geschikt tussen de eerste en tweede stators. De schuif wordt voorzien van een groot aantal schuifelektroden die worden geschikt om de statorelektroden en een tweede schuifelektrode onder ogen te zien die de uitgebreide elektrode onder ogen zien. De schuifelektroden worden gehandhaafd bij het grondpotentieel. Een eerste en tweede drijfvoltage wordt periodiek toegepast op de statorelektroden en op de uitgebreide elektrode, respectievelijk, die tegengesteld aan elkaar in fase zijn en tussen het grondpotentieel en het positieve drijfvoltage periodiek geschakeld. Aldus, wordt de schuif bewogen in een richting terwijl wordt getrild.