An apparatus is disclosed for obtaining ellipsometric measurements from a sample. A probe beam is focused onto the sample to create a spread of angles of incidence. The beam is passed through a quarter waveplate retarder and a polarizer. The reflected beam is measured by a detector. In one preferred embodiment, the detector includes eight radially arranged segments, each segment generating an output which represents an integration of multiple angle of incidence. A processor manipulates the output from the various segments to derive ellipsometric information.

Un apparecchio è rilevato per ottenere le misure ellipsometric da un campione. Un fascio della sonda è messo a fuoco sul campione per generare una diffusione degli angoli dell'incidenza. Il fascio è passato tramite un ritardatore quarto del waveplate e un polarizzatore. Il fascio riflesso è misurato da un rivelatore. In uno ha preferito l'incorporamento, il rivelatore include otto segmenti radialmente organizzati, ogni segmento che genera un'uscita che rappresenta un'integrazione dell'angolo dell'incidenza multiplo. Un processor maneggia l'uscita dai vari segmenti per derivare le informazioni ellipsometric.