A dielectric material having a high dielectric constant includes a Group III metal oxide and a Group V element. The incorporation of the Group V element in the Group III metal oxide material reduces the number of structural defects in the dielectric material, and reduces both the fixed charge density and the conduction current of the dielectric material.

Un material dieléctrico que tiene una alta constante dieléctrica incluye un óxido de metal del grupo III y un elemento del grupo V. La incorporación del elemento del grupo V en el material del óxido de metal del grupo III reduce el número de defectos estructurales en el material dieléctrico, y reduce la densidad fija de la carga y la corriente de la conducción del material dieléctrico.