A cassette table on which a wafer cassette is supported allows static electricity to be discharged from the cassette and hence, form the wafers disposed in the cassette. The cassette table includes a top plate, a cassette supporter that is mounted on the top plate and supports the cassette. At least part of the cassette supporter is made of a material that allows static electricity to be discharged to ground therethrough.

Ένας πίνακας κασετών στον οποίο μια κασέτα γκοφρετών υποστηρίζεται επιτρέπει στη στατική ηλεκτρική ενέργεια για να απαλλαχθεί από την κασέτα και ως εκ τούτου, διαμορφώστε τις γκοφρέτες που διατίθενται στην κασέτα. Ο πίνακας κασετών περιλαμβάνει ένα κορυφαίο πιάτο, ένας υποστηρικτής κασετών που τοποθετείται στο κορυφαίο πιάτο και υποστηρίζει την κασέτα. Τουλάχιστον μέρος του υποστηρικτή κασετών αποτελείται από ένα υλικό που επιτρέπει στη στατική ηλεκτρική ενέργεια για να απαλλαχθεί στο έδαφος therethrough.