Novel methods and devices for nanomachining a desired pattern on a surface
of a conductive workpiece are disclosed. In one aspect, the method
comprises using an electron beam emitted from one or more nanotubes to
evaporate nanoscale quantities of material from the workpiece surface. The
surface of the workpiece to be machined may be excited to a threshold
energy to reduce the amount of power required to be emitted by the
nanotube. In another aspect, a device is described for nanomachining a
desired pattern on a surface of a conductive workpiece, comprising a
vessel capable of sustaining a vacuum, a leveling support, a
nanopositioning stage, and a laser for heating the workpiece. A nanotool
is provided comprising at least one nanotube supported on an electrically
conductive base, adapted to emit an electron beam for evaporating material
from an electrically conductive workpiece.
Οι νέες μέθοδοι και οι συσκευές για ένα επιθυμητό σχέδιο σε μια επιφάνεια ενός αγώγιμου κομματιού προς κατεργασία αποκαλύπτονται. Σε μια πτυχή, η μέθοδος περιλαμβάνει τη χρησιμοποίηση μιας δέσμης ηλεκτρονίων που εκπέμπεται από ένα ή περισσότερα nanotubes για να εξατμίσει nanoscale τις ποσότητες υλικού από την επιφάνεια κομματιών προς κατεργασία. Η επιφάνεια του κομματιού προς κατεργασία που επεξεργάζεται στη μηχανή μπορεί να διεγερθεί σε μια ενέργεια κατώτατων ορίων για να μειώσει το ποσό δύναμης που απαιτείται για να εκπεμφθεί από το nanotube. Σε μια άλλη πτυχή, μια συσκευή περιγράφεται για ένα επιθυμητό σχέδιο σε μια επιφάνεια ενός αγώγιμου κομματιού προς κατεργασία, συμπερίληψη ενός σκάφους ικανού ένα κενό, μια ισοπεδώνοντας υποστήριξη, ένα nanopositioning στάδιο, και ένα λέιζερ για τη θέρμανση του κομματιού προς κατεργασία. Ένα nanotool παρέχεται περιλαμβάνοντας τουλάχιστον ένα nanotube που υποστηρίζεται σε μια ηλεκτρικά αγώγιμη βάση, που προσαρμόζεται για να εκπέμψει μια δέσμη ηλεκτρονίων για το εξατμίζοντας υλικό από ένα ηλεκτρικά αγώγιμο κομμάτι προς κατεργασία.