An approach to reducing the size of an output file generated by an optical proximity correction (OPC) process is described. An OPC output can be examined to identify identically sized segments with identical biases. Adjoining segments to those first identified to identify repeating basic shapes. Those basic shapes can be further refined and expanded as desired. Finally, the output is rewritten making use of the repeating shapes in a hierarchical output that places each shape once as a child cell of the original geometry and uses references to that shape in other locations thereby reducing data volume size. The data volume savings can be considerable.

Описан подход к уменьшению размера выходного файла произведенного оптически процессом коррекции близости (OPC). Выход OPC можно рассмотреть для того чтобы определить идентичн определенные размер этапы с идентичными смещениями. Граничащие этапы к тем сперва определенным определяют повторять основные формы. Те основные формы можно более в дальнейшем уточнить и расширить как пожелано. Окончательно, перезаписан выход используя формы в иерархическом выходе который устанавливает каждую форму раз как клетка ребенка первоначально геометрии и использует справки к той форме в других положениях таким образом уменьшая размер тома данных. Сбереженияа тома данных могут быть значительны.