An apparatus and method for reducing hazardous gases exhausted from a
process chamber 25 includes an effluent plasma reactor 210 and a
downstream catalytic reactor 220. The reactor 210 may include a consumable
liner that reacts with the energized effluent to remove the hazardous
gases. The catalytic reactor 220 may also include catalytic surfaces 227
in a honeycomb, foam, or pellet structure 225 to catalyze reactions that
further reduce hazardous gas content.
Um instrumento e um método para reduzir os gáses perigosos esgotados de uma câmara process 25 incluem um reator effluent 210 do plasma e um reator catalytic downstream 220. O reator 210 pode incluir um forro consumível que reaja com o effluent energizado para remover os gáses perigosos. O reator catalytic 220 pode também incluir as superfícies catalytic 227 em um favo de mel, em uma espuma, ou em uma estrutura 225 da pelota para catalyze as reações que reduzem mais mais o índice perigoso do gás.
