A pump for ultra-pure fluids comprises a flexible diaphragm separating a
fluid chamber from an air chamber. The diaphragm creates an airtight seal
between the fluid chamber and the air chamber. Any leak from the fluid
chamber into the air chamber is detected by a fiber optic system
comprising an element and two optical fibers that are disposed such that
light is detected by the second optical fiber only when the element is not
in contact with liquid. A second fiber optic system can also be used to
determine the stroke of an oscillating member by disposing the fiber optic
lines at an angle calculated to reflect light off of the oscillating
member when the member arrives at a predetermined location. The fiber
optics are adapted to be resistant to corrosion, non-igniting, and
non-contaminating.
Μια αντλία για τα εξαιρετικά-καθαρά ρευστά περιλαμβάνει ένα εύκαμπτο διάφραγμα που χωρίζει μια ρευστή αίθουσα από έναν αεροθάλαμο. Το διάφραγμα δημιουργεί μια αεροστεγή σφραγίδα μεταξύ της ρευστής αίθουσας και του αεροθαλάμου. Οποιαδήποτε διαρροή από τη ρευστή αίθουσα στον αεροθάλαμο ανιχνεύεται από ένα οπτικό σύστημα ινών περιλαμβάνοντας στοιχείο και δύο οπτικές ίνες που διατίθενται έτσι ώστε το φως ανιχνεύεται από τη δεύτερη οπτική ίνα μόνο όταν δεν είναι το στοιχείο σε επαφή με το υγρό. Ένα οπτικό σύστημα δεύτερων ινών μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για να καθορίσει το κτύπημα ενός ταλαντεμένος μέλους με τη διάθεση των οπτικών γραμμών ινών που υπολογίζονται διαγωνίως για να απεικονίσουν το φως μακριά του ταλαντεμένος μέλους όταν φθάνει το μέλος σε μια προκαθορισμένη θέση. Η οπτική ινών προσαρμόζεται για να είναι ανθεκτική στη διάβρωση, μη-που αναφλέγει, και αμόλυντη.
