Robot arm end effectors rapidly transfer semiconductor wafers between a
wafer cassette and a processing station. Preferred embodiments of the end
effectors include proximal and distal rest pads, the latter having pad
and backstop portions that support and grip the wafer at its peripheral
edge or within an annular exclusion zone that extends inward from the
peripheral edge of the wafer. Preferred embodiments of the end effectors
also include fiber optic light transmission sensors for determining
various wafer surface, edge, thickness, tilt, and location parameters.
The sensors provide robot arm extension and elevation positioning data
supporting methods of rapidly and accurately placing and retrieving a
wafer from among a stack of closely spaced wafers stored in the wafer
cassette.
Τα effectors τελών βραχιόνων ρομπότ μεταφέρουν γρήγορα τις γκοφρέτες ημιαγωγών μεταξύ μιας κασέτας γκοφρετών και ενός σταθμού επεξεργασίας. Οι προτιμημένες ενσωματώσεις των effectors τελών περιλαμβάνουν τα κεντρικά και ακραία μαξιλάρια υπολοίπου, ο τελευταίος που έχει το μαξιλάρι και backstop τις μερίδες ότι υποστήριξη και πιάνουν την γκοφρέτα στην απομακρυσμένη άκρη της ή μέσα σε μια δακτυλιοειδή ζώνη αποκλεισμού που επεκτείνεται προς το εσωτερικό από την απομακρυσμένη άκρη της γκοφρέτας. Οι προτιμημένες ενσωματώσεις των effectors τελών περιλαμβάνουν επίσης τους οπτικούς αισθητήρες ελαφριάς μετάδοσης ινών για τον καθορισμό της διάφορης επιφάνειας γκοφρετών, της άκρης, του πάχους, της κλίσης, και των παραμέτρων θέσης. Οι αισθητήρες παρέχουν τις ενισχυτικές μεθόδους στοιχείων προσδιορισμού θέσης επέκτασης και ανύψωσης βραχιόνων ρομπότ γρήγορα και ακριβώς και μια γκοφρέτα από μεταξύ ενός σωρού των πολύ χωρισμένων κατά διαστήματα γκοφρετών που αποθηκεύονται στην κασέτα γκοφρετών.
