Thiophene-containing photo acid generators having either of the following
general formulas:
##STR1##
wherein at least one of R.sup.1, R.sup.2 or R.sup.3 is thiophene or
thiophene that is substituted with alkyl, alkoxy or cycloalkyl, and the
remaining R.sup.1, R.sup.2 or R.sup.3, not containing a thiophene moiety,
are independently selected from the group consisting of alkyl, cycloalkyl
and aryl, or at least one of R.sup.1, R.sup.2 or R.sup.3 are joined
together to form a cyclic moiety having from about 4 to about 8 ring
carbon atoms; and Y is a counter ion, are disclosed as well as the use
thereof as a component of a chemically amplified resist composition. In
addition to the thiophene-containing photo acid generator, the inventive
composition includes a chemically amplified base polymer, a solvent, an
optional photosensitizer, an optional base, an optional dissolution
modifying agent and an optional surfactant.
die sauren Generatoren des Fotos Thiophen-enthalten, die irgendeine der folgenden allgemeinen Formeln haben: ## STR1 ## worin eins mindestens von R.sup.1, R.sup.2 oder R.sup.3 Thiophen oder Thiophen ist, die mit Alkyl-, alkoxy oder cycloalkyl und das restliche R.sup.1, das R.sup.2 oder das R.sup.3 ersetzt wird, werden das Enthalten nicht einer Thiophenhälfte, unabhängig von der Gruppe vorgewählt, die aus Alkyl, cycloalkyl und Aryl besteht, oder eins mindestens von R.sup.1, R.sup.2 oder R.sup.3 werden zusammen verbunden, um eine zyklische Hälfte zu bilden, die von ungefähr 4 zu ungefähr 8 Ringkohlenstoffatomen hat; und Y ist ein Gegenion, werden freigegeben, sowie der Gebrauch, davon wie ein Bestandteil von chemisch verstärkt Aufbau widerstehen. Zusätzlich zum Thiophen-enthaltenen sauren Generator des Fotos schließt der erfinderische Aufbau ein chemisch verstärktes niedriges Polymer-Plastik, ein Lösungsmittel, einen wahlweise freigestellten Lichtsensibilisator, eine wahlweise freigestellte Unterseite, ein änderndes Mittel der wahlweise freigestellten Auflösung und ein wahlweise freigestelltes Tensid mit ein.
