Narrow track width magnetoresistive sensor and method of making

   
   

An electrically conductive sidewall for an electromagnetic transducer having a magnetoresistive sensor is formed as a layer oriented substantially perpendicular to other layers of the sensor, and is used as a mask for defining the width of the sensor. This allows the sensor to be made much thinner than conventional sensors, providing higher resolution in a track width direction. The sidewall can be nonmagnetic, serving as a spacer between the magnetic sensor layers and an adjacent magnetic shield without the need for a protective cap to guard against damage from polishing and wet etching. Alternatively, the sidewall can be magnetic, serving as an extension of the shield. In either case, the sidewall reduces the effective length of the sensor for linear resolution, sharpening the focus of the sensor and increasing linear density. Also reduced is the tolerance for error in sensor width and length. The combination of increased resolution in track width and track length directions provides a large increase in areal resolution, such that sensors in accordance with the present invention may be able to resolve signals at a density exceeding a terabit per square inch. A correspondingly narrow pole-tip for an inductive transducer that may be employed in conjunction with the magnetoresistive sensor is also disclosed.

Un flanco eléctricamente conductor para un transductor electromágnetico que tiene un sensor magnetoresistente se forma como una capa orientó substancialmente perpendicular a otras capas del sensor, y se utiliza como máscara para definir la anchura del sensor. Esto permite que el sensor sea hecho los sensores mucho más fino que convencionales, proporcionando una resolución más alta en una dirección de la anchura de pista. El flanco puede ser no magnético, sirviendo como espaciador entre las capas magnéticas del sensor y un protector magnético adyacente sin la necesidad de una tapa protectora al protector contra daño de pulir y mojar la aguafuerte. Alternativomente, el flanco puede ser magnético, sirviendo como extensión del protector. En cualquier caso, el flanco reduce la longitud útil del sensor para la resolución linear, afilando el foco del sensor y aumentando densidad linear. También se reduce la tolerancia para el error en anchura y longitud del sensor. La combinación de la resolución creciente en direcciones de la anchura de pista y de la longitud de la pista proporciona un aumento grande en la resolución regional, tal que los sensores de acuerdo con la actual invención pueden poder resolver señales en una densidad que excede un terabit por pulgada cuadrada. Un correspondientemente estrecho poste-inclina para un transductor inductivo que se pueda emplear conjuntamente con el sensor magnetoresistente también se divulgue.

 
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