Poly (para-xylylene) ("PPX") polymer films are processed under particular
conditions in order to maintain their stability for use in integrated
circuits. This is primarily achieved by controlling the substrate
temperature, feed rate of the polymer precursors, and the environmental
conditions. The resulting films are stable at high temperatures and
compatible with other film layers.
De poly (Para.-xylylene) ("PPX") films de polymère sont traités dans des conditions particulières afin de maintenir leur stabilité pour l'usage dans des circuits intégrés. Ceci est principalement réalisé en commandant la température de substrat, le taux d'entrée des précurseurs de polymère, et les conditions environnementales. Les films résultants sont stables à températures élevées et compatibles avec d'autres couches de film.
