In a method for controlling a processing apparatus, an error value between
an input value of the processing apparatus for processing a subject to be
processed, and a measurement value obtained by measuring the subject being
processed is obtained. A correction value is computed for correcting the
input value of the processing apparatus in the direction of decreasing the
error value, and the values are managed as processing data to be utilized
in computing a next correction value. Previous processing data having a
history identical to that of the subject loaded to the processing
apparatus is searched, and a current bias correction value is predicted
from a plurality of most recent correction values having the identical
history. Also, a current random correction value is predicted by means of
a neural network on the basis of a plurality of most recent random
correction values. The predicted bias correction value is summed with the
random correction value as a current correction value of the processing
apparatus.
En un método para controlar un aparato de proceso, un valor del error entre un valor de la entrada del aparato de proceso para a de proceso conforme a se procese, y un valor de la medida obtenido midiendo el tema que es procesado se obtiene. Un valor de la corrección se computa para corregir el valor de la entrada del aparato de proceso en la dirección de disminuir el valor del error, y los valores se manejan como datos de proceso que se utilizarán en computar un valor siguiente de la corrección. Los datos de proceso anteriores que tienen una historia idéntica a la del tema cargado al aparato de proceso se buscan, y un valor diagonal actual de la corrección se predice de una pluralidad de la mayoría de los valores recientes de la corrección que tienen la historia idéntica. También, un valor al azar actual de la corrección se predice por medio de una red de los nervios en base de una pluralidad de la mayoría de los valores al azar recientes de la corrección. El valor diagonal predicho de la corrección se suma con el valor al azar de la corrección como valor actual de la corrección del aparato de proceso.
