A method of cleaning and removing water and entrained solutes during a
manufacturing process from a microelectronic device such as a
resist-coated semiconductor substrate, a MEM's device, or an
optoelectronic device comprising the steps of: (a) providing a partially
fabricated integrated circuit, MEM's device, or optoelectronic device
having water and entrained solutes on the substrate; (b) providing a
densified (e.g., liquid or supercritical) carbon dioxide drying
composition, the drying composition comprising carbon dioxide and a drying
adjunct, the drying adjunct selected from the group consisting of
cosolvents, surfactants, and combinations thereof; (c) immersing the
surface portion in the densified carbon dioxide drying composition; and
then (d) removing the drying composition from the surface portion. Process
parameters are controlled so that the drying composition is maintained as
a homogeneous composition during the immersing step, the removing step, or
both the immersing and removing step, without substantial deposition of
the drying/cleaning adjunct or entrained solutes on the substrate.
Um método da limpeza e da água e de solutes entrained remover durante um processo de manufacturing de um dispositivo microelectronic tal como uma carcaça resist-coated do semicondutor, o dispositivo de um MEM, ou um dispositivo optoelectronic que compreende as etapas de: (a) fornecendo um circuito integrado parcialmente fabricado, o dispositivo de MEM, ou o dispositivo optoelectronic que tem a água e solutes entrained na carcaça; (b) fornecendo a densified (por exemplo, líquido ou supercritical) composição de secagem do dióxido de carbono, a composição de secagem que compreendem o dióxido de carbono e um adjunct de secagem, o adjunct de secagem selecionado dos cosolvents consistindo do grupo, surfactants, e combinações disso; (c) immersing a parcela de superfície no densified composição de secagem do dióxido de carbono; e então (d) removendo a composição de secagem da parcela de superfície. Os parâmetros process são controlados de modo que a composição de secagem seja mantida enquanto uma composição homogênea durante a etapa immersing, a etapa removendo, ou a etapa immersing e removendo, sem deposition substancial do adjunct de drying/cleaning ou solutes entrained na carcaça.
