Suitable particles may be deposited within an extremely small high-aspect
ratio via by flowing the particles in a suspension using supercritical
carbon dioxide. The particles may be made up of diblock copolymers or
silesquioxane-based materials or oligomers of phobic homopolymers or
pre-formed silica-based particles stabilized using diblock copolymers and
may include chemical initiators to permit in situ polymerization within
the via.
Des particules appropriées peuvent être déposées dans un rapport extrêmement petit d'haut-aspect par l'intermédiaire de par entrer les particules dans une suspension en utilisant l'anhydride carbonique supercritique. Les particules peuvent se composer des copolymères de diblock ou des matériaux ou des oligomères silesquioxane-basés des homopolymères phobiques ou des particules silice-basées préformées stabilisées en utilisant des copolymères de diblock et peuvent inclure les initiateurs chimiques pour permettre la polymérisation in situ dans par l'intermédiaire de.
