In brief, the present invention provides a system for the interconnection
of semiconductor fabrication tools ("process tools") in a semiconductor
fabrication facility by use of a data network and microprocessor based
interface ("browser") associated with each process tool. The data network
and microprocessor based interface provide communication in accordance
with known standards via Intranet or Internet data transfer links to one
or more remotely disposed browsers. Data is immediately available in real
time on all aspects of the operation of the fabrication facility.
Equipment engineers and process engineers can browse the various process
tools from any location. Host communications to and from the tools can be
monitored without affect on factory operation. The interface is compatible
with standard process tools and factory automation or management software
systems.
No sumário, a invenção atual fornece um sistema para a interconexão de ferramentas da fabricação do semicondutor ("ferramentas process") em uma facilidade da fabricação do semicondutor pelo uso de uma rede de dados e de uma relação baseada microprocessador ("browser") associadas com cada ferramenta process. A rede de dados e a relação baseada microprocessador fornecem uma comunicação de acordo com padrões sabidos através as ligações de transferência de dados do Intranet ou do Internet a um ou mais browsers remotamente disposto. Os dados estão imediatamente disponíveis no tempo real em todos os aspectos da operação da facilidade da fabricação. Os coordenadores do equipamento e os coordenadores process podem browse as várias ferramentas process de toda a posição. As comunicações do anfitrião a e das ferramentas podem ser monitoradas without afetam na operação da fábrica. A relação é compatível com as ferramentas e sistemas process padrão de automatização de fábrica ou de software da gerência.
