An apparatus adapted for exposing a semiconductor is controlled by a
program using a plurality of parameters. The apparatus has an extraction
device that extracts a parameter, from the plurality of parameters, of
which a settable range is changed due to an upgrade of the program. An
edit device edits a value of an extracted parameter extracted by the
extraction device.
Een apparaat dat voor het blootstellen van een halfgeleider wordt aangepast wordt gecontroleerd door een programma gebruikend een meerderheid van parameters. Het apparaat heeft een extractieapparaat dat een parameter, uit de meerderheid van parameters haalt, waarvan een settable waaier wegens een verbetering van het programma wordt veranderd. Geef apparaat uit uitgeeft een waarde van een gehaalde parameter die door het extractieapparaat wordt gehaald.
