A method for calibrating a lithographic projection apparatus includes
identifying a set of two or more reference positions of one a first and a
second object table WTa, WTb or MT with a first detection system and
simultaneously measuring those reference positions with a first position
measuring system, identifying the same set of reference positions of said
one object table with a second detection system and simultaneously
measuring those reference positions with a second position measuring
system, and correlating said first and said second position measuring
systems using the measurements of the reference positions.
Μια μέθοδος για μια λιθογραφική συσκευή προβολής περιλαμβάνει τον προσδιορισμό ενός συνόλου δύο ή περισσότερων θέσεων αναφοράς του ενός ένας πρώτος και δεύτερος πίνακας αντικειμένου WTa, WTb ή ΑΜ με ένα πρώτο σύστημα ανίχνευσης και ταυτόχρονα τη μέτρηση εκείνων των θέσεων αναφοράς με μια πρώτη θέση που μετρά το σύστημα, που προσδιορίζει το ίδιο σύνολο θέσεων αναφοράς εν λόγω έναν πίνακα αντικειμένου με ένα δεύτερο σύστημα ανίχνευσης και ταυτόχρονα που μετρά εκείνες τις θέσεις αναφοράς με μια δεύτερη θέση μετρώντας το σύστημα, και το συσχετισμό εν λόγω πρώτα και την εν λόγω δεύτερη θέση μετρώντας τα συστήματα χρησιμοποιώντας τις μετρήσεις των θέσεων αναφοράς.
