A compound vacuum pump comprising at least one turbo-molecular stage and
downstream therefrom a multi-channel molecular drag stage, a first inlet
through which fluid can pass through the turbo-molecular stage and the
molecular drag stage towards a pump outlet, a second inlet through which
fluid can enter the pump at a location between the turbo-molecular and the
molecular drag stages to pass only through the molecular drag stage
towards the pump outlet, in which one or more channels of the molecular
drag stage are adapted to communicate directly with the second inlet
whilst the remaining channel or channels communicate with the
turbo-molecular stage.
Une pompe de vide composée comportant au moins une étape turbo-moléculaire et en aval de là une étape moléculaire multicanale de drague, une première admission par lesquelles fluide peut passer par l'étape turbo-moléculaire et l'étape moléculaire de drague vers une sortie de pompe, une deuxième admission par lequel fluide peut entrer dans la pompe à un endroit entre les étapes turbo-moléculaires et moléculaires de drague pour passer seulement par l'étape moléculaire de drague vers la sortie de pompe, en laquelle un ou plusieurs canaux de l'étape moléculaire de drague sont adaptés pour communiquer directement avec la deuxième admission tandis que le canal ou les canaux restants communiquent avec l'étape turbo-moléculaire.
