A meso-scale MEMS device having a cantilevered beam is formed using
standard printed wiring board and high density interconnect technologies
and practices. The beam includes at least some polymer material to
constitute its length, and in some embodiments also comprises a conductive
material as a load-bearing component thereof. In varying embodiments, the
beam is attached at a location proximal to an end thereof, or distal to an
end thereof.
Μια συσκευή μέσος-κλίμακας MEMS που έχει το α η ακτίνα διαμορφώνεται χρησιμοποιώντας τυπωμένο τον πρότυπα συνδέοντας με καλώδιο πίνακα και η υψηλή πυκνότητα διασυνδέει τις τεχνολογίες και τις πρακτικές. Η ακτίνα περιλαμβάνει τουλάχιστον κάποιο πολυμερές υλικό για να αποτελέσει το μήκος της, και σε μερικές ενσωματώσεις περιλαμβάνει επίσης ένα αγώγιμο υλικό ως μεταφέρον συστατικό επ' αυτού. Στις ποικίλες ενσωματώσεις, η ακτίνα είναι συνδεμένη σε μια θέση κεντρική με ένα τέλος επ' αυτού, ή ακραία σε ένα τέλος επ' αυτού.
