Low dielectric constant materials with polymeric networks

   
   

A low dielectric constant material has a polymeric network that is fabricated from a first and a second component. The first component comprises a polymeric strand, and the second component comprises a molecule having a central portion with at least three arms extending from the central portion, wherein each of the arms includes a backbone with a reactive group. The first component and the second component form the polymeric network in a reaction that involves at least one of the reactive groups when the first and second components are thermally activated. Contemplated low dielectric constant materials are advantageously employed in the fabrication of electronic devices, and particularly contemplated devices include integrated circuits.

Un bas matériel de constante diélectrique a un réseau polymère qui est fabriqué d'un premier et un deuxième composant. Le premier composant comporte une rive polymère, et le deuxième composant comporte une molécule ayant une partie centrale avec au moins trois bras s'étendant de la partie centrale, où chacun des bras inclut une épine dorsale avec un groupe réactif. Le premier composant et la deuxième forme composante le réseau polymère dans une réaction qui implique au moins un des groupes réactifs quand les premiers et deuxièmes composants sont thermiquement activés. De bas matériaux contemplés de constante diélectrique sont avantageusement utilisés dans la fabrication des dispositifs électroniques, et en particulier les dispositifs contemplés incluent des circuits intégrés.

 
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